PerkinElmer
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半導體/電子

我們提供的電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)可最大程度消除干擾,將BEC值降至PPt級。

珀金埃爾默的NexION?350電感耦合等離子體質譜儀憑借其獨特性能,極大地延長儀器的正常運行時間并提高了生產效率,使其成為半導體行業的首選分析儀器。與市場其他電感耦合等離子體質譜儀相比,NexION ICP-MS信號穩定性強、速度快且檢出限低,也是其成為行業領導品牌的重要原因之一。此外NexION ICP-MS的設計能夠最大程度地消除干擾,同時提供了最先進的納米粒子軟件,用于直徑小于20納米的單粒子分析,這也是NexION ICP-MS處于電感耦合等離子體質譜儀行業領導地位的最重要因素。

利用專為半導體市場測試需求而設計的系統,所有交鑰匙方法以及用于客戶評估的樣品分析均在我們的100級半導體潔凈室中進行。 這些設施使我們能夠預測儀器安裝后會出現的分析需求。 我們的目標是為您的實驗室提供分析系統和適當的支持,幫助您的實驗室獲得盡可能低的檢測限,實現快速檢測。

珀金埃爾默為半導體實驗室提供全套的儀器、產品和服務,包括:

  • 原子光譜儀(石墨爐原子吸收光譜儀、電感耦合等離子體質譜儀和電感耦合等離子體發射光譜儀)
  • 色譜儀(熱脫附、氣相色譜儀、氣質聯用儀、HPLC/UHPLC)
  • 分子光譜儀(傅里葉變換紅外光譜和紫外-可見光譜儀)
  • 熱分析和元素分析儀
  • 耗材
  • 維修服務,包括“交鑰匙”維修協議

雜質管理

使用NexION 350S電感耦合等離子體質譜儀測定電子和半導體制造過程中的超痕量金屬污染物。

  • NexION 350S電感耦合等離子體質譜儀配置了已優化靈敏度的雙通道檢測器, 該系統使用純的反應氣消除了所有干擾,幾乎未對分析靈敏度造成影響。非常適合消除干擾且性能要求高的應用。此外,NexION 350S電感耦合等離子體質譜的結構專為半導體行業設計,符合相關要求。

使用ATD-GC/MS測定異丙醇中的雜質。

  • 珀金埃爾默公司的ATD-GC/MS是檢測異丙醇(IPA)中的超痕量元素的理想解決方案。

使用珀金埃爾默Spotlight?400傅里葉變換紅外光譜成像系統可輕松進行雜質測定和鑒定。

  • 珀金埃爾默Spotlight?傅里葉變換紅外光譜儀能夠測量半導體中μm級雜質,確保快速有效的質量控制。

零部件質量

使用珀金埃爾默材料表征解決方案保障各類半導體以及其他電子材料的質量。

熱分析儀是半導體封裝行業的重要工具。其不僅應用在設計和開發階段,也可用于進行故障分析和質量控制。

珀金埃爾默的傅里葉變換紅外光譜儀為半導體行業提供了一整套解決方案。晶片和電池中的碳、氧、硼和磷等雜質的了解對于未來的制造工藝和電池效率至關重要。這些元素的濃度直接影響半導體層中的晶片制造工藝,進而影響可靠性。由于紅外光譜儀(FT-IR)能夠在特定條件下可視原子之間不同類型的鍵合及其活性,因此也被應用于該行業中。

珀金埃爾默的高性能LAMBDA?紫外-可見-近紅外分光光度計及其附件和相關軟件是準確測量關鍵研究參數(如帶隙等)的最佳選擇。該特性是決定生產薄膜光伏電池所用半導體元件質量的重要因素。

工作場所安全及材料脫氣

珀金埃爾默系列色譜系統為微芯片制造工廠(Fabs)和其他半導體工作場所中有毒化學品分析提供完整的解決方案。

珀金埃爾默公司還提供各種檢測儀器,(包括:與GC/MS聯用的的熱脫附儀)用于檢測煙囪排放的有毒化學物質。此外TurboMatrix ATD/GC/MS系統也是檢測工作場所空氣中有毒成分的理想儀器。熱解吸是一種能夠簡化和擴大GC應用的的技術,包括:潔凈室空氣監測和半導體材料以及聚合物的脫氣分析。該系統用戶無需使用特殊冷卻劑便可在接近室溫條件下實現最大分離,該性能對于工廠環境監測中的揮發性有機化合物的分析尤為重要。

納米級檢測及表征

珀金埃爾默提供了一套分析技術用于改善納米級的QA/QC控制。配備Syngistix?納米應用模塊的NexION 350能夠在單顆粒水平上識別、計算和測量10納米至幾微米的顆粒。LAMBDA?1050紫外-可見光譜儀及各種配件可應用于表面化學的分析。

納米材料用于制造聚合物光伏電池,可幫助電荷從光敏有機材料轉移到太陽能電池的導電層中。

如您有任務疑問,我們愿意提供幫助。

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